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Tétrafluorométhane N50
Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto
Gaz chimique : CF
4
Applications
Nettoyage CVD (fabrication de semi-conducteurs)
Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 116GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle
Couleur de l’ogive : Vert vif
Masse molaire
88 g/mol
Masse volumique (TPS)
3,72 kg/m
3
Densité relative, gaz
3 (air=1)
Densité relative, liquide
Non applicable
N° CAS CF
4
75-73-0
Potentiel de Réchauffement
Global (PRG) (CO
2
=1)
5 700
Risque majeur
Gaz sous pression
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
Non inflammable
Compatibilité avec les
matériaux
Non corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore,
non détectable à l’odeur
Identification des dangers
Désignation officielle
Tétrafluorométhane
(gaz réfrigérant R 14)
N° ONU
1982
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 A
2
5.1
2
2
5.1
2
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,999
H
2
O < 2 ppm mole
O
2
+ Ar < 5 ppm mole
N
2
< 10 ppm mole
CO < 1 ppm mole
CO
2
< 1 ppm mole
C
n
H
m
< 1 ppm mole
Acidité (en HF) < 0,4 ppm
mole
Bouteille
S05
70 0,5 m
3
36 P0652S05R0A001
Bouteille
L50
100 36,8 kg 36 P0652L50R0A001
6.50
Janv. 2016